@ エアー圧の確認をします。同時にエアーフィルターの汚れの確
認をします。
A 回転テーブルのレベル出しをし、水準器にて
水準確認をします。
B 倍率校正器にて倍率校正を行います。
C マスターボールにて回転精度を測定します。
( 半径方向及び軸方向)
D マスターボールにて偏心補正・零点補正を確認します。
E 円筒スコヤにて0 度方向と180 度方向を測定し、コラムの平
行を確認します。
(Z 軸平行度)
F オプチカルフラットにて、Z 方向の真直度を測定し
確認します。
G テーブルのレベル出しをし、オプチカルフラットにてR 軸方向
の真直度を測定し確認します。
H オプチカルフラットにてR 軸方向の平行度を測定し
確認します。
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